01 Feature 製品特徴
世界初! サブミクロンの
微粒子を
「目視」で手軽に
検証できる光源システム
レーザー光を照射せずに、目視によるサブミクロンの異物観察を実現しました。出射部と撮影部を小型化し装置内へ直接アプローチ可能になり、局所クリーン化が進むクリーンルーム設備への対応も万全。最新の画像処理技術により視認できない粒子像も強力に補足できるようになり、最新の異物対策システムとして完成しました。
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Point
01
レーザー光を照射せずに
サブミクロンを目視観察する
光源を開発
従来、サブミクロンの可視化にはクラス４のレーザーシート光源を用いられていましたが、安全上の問題から製造現場で使用することができませんでした。
本製品はレーザー光を観測空間へ照射しておらず、目視観察が可能なので、生産現場で手軽にスマホでパーティクルの可視化撮影を行えます。
Point
02
小型化したカメラと
光源ヘッドで製造装置に
直接アプローチ
非レーザーの照明ながら光路長を揃え指向性を高めた専用設計により、サブミクロン可視化を光源単体で実現。
さらに、業界最小クラスの照射ヘッドとカメラ筐体を実現し、局所クリーン化が進む製造ライン内の様々な場所に配置ができ、製造工程全体の発塵管理に利用可能です。
Point
03
最新の画像処理により
視認できない粒子像も
強力に補足
最新のリアルタイム画像処理を5モード搭載しており、様々な計測条件に対応します。
また、視認性が悪いサブミクロンの微粒子を広角撮影する時にもマスク処理で補間できるオリジナル機能を多数搭載しているので、使いやすい操作性とシンプル構造で、高機能と直感操作を両立しています。
サブミクロン
